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更新时间: 2025-05-26
岛津氦质谱检漏仪的进展： （1）便携式：zui近各国推出的小型便携式检漏仪不仅灵敏度高，而且便于携带，给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。 （2）高压强下检漏：检漏口压强可高达数百帕左右，对检测大系统和有大漏的工件很有益。 （3）自动化程度高：自动校准氦峰，自动调节零点，量程自动转换，自动数据处理，可外接打印机。整机由微机控制，菜单选择功能，一个按钮即可完成一次的全检漏过程。 （4）全无油的干式检漏：有些国家生产的岛津氦质谱检漏仪，可采用干式泵，达到无油蒸气的效果，为无油系统及芯片等半导体器件的检漏，提供了有利条件。 （5）检漏范围宽：现今生产的四极检漏仪，质量范围很宽，不仅可检测氦气，而且能检测其它气体。 岛津氦质谱检漏仪自身保养小知识 （1）前级真空泵的定期换油及深度保养； （2）电磁阀组的超声清洗； （3）质谱模块组件的超声清洗以及分子泵的定期保养维护。 岛津氦质谱检漏仪主要配置采用检漏仪定制产品。设备内芯的制造借鉴*技术，整机设置合理、性能稳定。具有灵敏度高，反应快，开机时间短等特点。