普发分子泵 HiPace 1200-2300系列涡轮分子泵可以倒装安装，经过实践证明的轴承技术确保了其**的可靠性。

成熟精湛的转子设计使其具有更出色的抽速，更好的前级泵兼容性和更大的气流量，对于小分子气体

具有更高的压缩比。集成可靠的智能传感器系统，HiPace系统当仁不让的成为市场上安全性能**的

产品。

普发分子泵 产品优势：

从1000-2000L/S提供四个抽速等级

对于小分子量气体（H2 He），和大分子量气体（Ar、CF4）都有很高的抽速

即便对大分子量气体（Ar，CF4)也有很高的气流量

安装角度可选0°-90°和90°-180°

有抗腐蚀性气体型号可选（C型号）

带节流阀和阀门的集成净化气体系统

电压范围：90-265V

界面接口：RS-485，远程控制；Profibus和DeviceNet可选

获得SEMI S2，UL,CSA和TUV认证

防护等级IP54符合工业环境应用要求

**可能的符合各种工艺流程，能够忍受颗粒物

普发分子泵应用领域：

半导体

真空炉

质朴分析

镀膜、研发

工业检漏

普发分子泵 系列型号：

HiPace^TM 1200

HiPace^{TM 1500}
HiPace^{TM 1800}
HiPace^{TM 2300}