岛津氦质谱检漏仪的进展：　　（1）便携式：zui近各国推出的小型便携式检漏仪不仅灵敏度高，而且便于携带，给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。　　（2）高压强下检漏：检漏口压强可高达数百帕左右，对检测大系统和有大漏的工件很有益。　　（3）自动化程度高：自动校准氦峰，自动调节零点，量程自动转换，自动数据处理，可外接打印机。整机由微机控制，菜单选择功能，一个按钮即可完成一次的全检漏过程。　　（4）全无油的干式检漏：有些国家生产的岛津氦质谱检漏仪，可采用干式泵，达到无油蒸气的效果，为无油系统及芯片等半导体器件的检漏，提供了有利条件。　　（5）检漏范围宽：现今生产的四极检漏仪，质量范围很宽，不仅可检测氦气，而且能检测其它气体。　　岛津氦质谱检漏仪自身保养小知识　　（1）前级真空泵的定期换油及深度保养；　　（2）电磁阀组的超声清洗；　　（3）质谱模块组件的超声清洗以及分子泵的定期保养维护。　　岛津氦质谱检漏仪主要配置采用检漏仪定制产品。设备内芯的制造借鉴*技术，整机设置合理、性能稳定。具有灵敏度高，反应快，开机时间短等特点。